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浙江大学微电子与光电子研究所

发布时间:2018-07-17 访问次数:387次 分享:

1954年,全国高等院校进行院系调整,浙江大学原有的通信、电子等相关专业调往东南大学(原南京工学院)。

1957年,浙江大学为填补该学科方向的空缺和符合国民经济社会发展的需要,在电机系成立了无线电、电真空、半导体和自动远动专业,并由以上专业为基础成立了浙江大学无线电系,系址在浙大第二教学楼,系主任为何志均老师。当时无线电系称为八系,故上述专业分别以八0一,八0二,八0三,八0四作为代号。

1960年,国家高教部批准浙大正式成立半导体材料与器件专业。浙大成为我国首批设立半导体专业的六所工科院校之一。浙大半导体专业(八0三)教研室副主任为陈启秀老师(主持工作)和阙端麟老师。主要教师有林书樾,叶铭,宋南辛,阮元珍,徐家权,桂子王,蔡荣芳,林玉瓶,史玲娟等。同时将电机等系的部分学生转到半导体专业,分别为57级,58级和59级三个班。60年开始单独招生(601602两个班)。当时开设的专业课程有:量子力学,热力学与统计物理,电动力学,固体物理,半导体物理,半导体材料,半导体工艺,半导体器件,晶体管电路,晶体管原理等。学制为五年。

1962年首届学生(57级)22人毕业。

1963年随整个无线电系由玉泉校区本部迁到六和塔旁的浙大三分部。该专业自成立开始,科研先后开展多项科研项目,其中硅烷法制取硅多晶和单晶是国内影响较大的项目。双极型高压功率三极管,七十年代末开始对大功率MOS管进行研制。硅烷制取课题负责人是阙端麟,参加人员有姚奎鸿,李立本,林玉瓶,桂子王等。后者课题负责人为陈启秀,参加人员有叶润涛、徐家权、叶铭、王明华、黄树新、陈景银、宋南辛、陈忠景、陈福元等。这两个课题组均获得成功,并获得国家及省部级奖励:“全分子筛吸附法提取硅烷”获得国家发明三等奖,“VMOS晶体管”获得中科院系统科技进步二等奖,浙江省科技进步二等奖,和天津第四半导体厂一起获得天际科技进步一等奖。于此同时在国内有一定影响的项目有"三重扩散工艺""二次击穿机理探讨"

80年代起,浙大半导体专业开始了集成电路相关技术的研究,叶润涛等教师参加了国家重大项目“熊猫集成电路CAD系统”研发工作,该项目获得国家机电部的科技进步一等奖。为材料科学发展需要,1979年浙江大学新设立了材料工程系。半导体材料作为材料学科的一员,离开无线电系半导体专业,并入材料工程系。由于阙端麟教授在硅材料领域的出色成就,于1991年被选为中科院学部委员(院士)。

因半导体光电子学科的发展需要,1982年王明华等老师组建了浙大半导体光电子技术专业。1985年获国家教育部批准,开始独立招生。半导体专业自创立以来除66-70年受文革影响停招外,基本上每年都招收学生。从57级开始到文革前(65级),共招收十一个班。文革期间(7072-76级)六个班,文革后(77级始)三十个班,共计四十七个班级,约一千五百名学生。文革结束后在1979年招收了第一个硕士研究生,1984年被批准设立“微电子学与固体电子学”硕士点;1990年招收第一个博士研究生,1993年被批准成立“微电子学与固体电子学”博士点。

1989年,按学校各专业成立学科研究所的要求,半导体器件专业成立了“浙大功率器件研究所”,所长为陈启秀老师。

2000年,研究所更名为“微电子技术与系统设计研究所”,所长为朱大中老师。

2006年,浙大微电子与半导体光电子重又合并成为今天的“微电子与光电子研究所”。所长为金仲和老师。

2010年,金钟和教授带领的微小卫星课题组从微电子与光电子研究所独立出去。微电子与光电子所又引进了千人计划骆季奎教授,并由骆季奎教授担任所长。

2015年,千人计划教授程志渊老师担任所长,研究所正式更名为“微纳电子研究所”。

现在的浙大微纳电子研究所共有教职员工50余名,博士、硕士研究生100余名。共分两个研究方向:

微电子集成电路方向

半导体光电子方向

今天,浙大半导体经历了半个世纪的风雨,已成长壮大并仍在不断取得进步。承担着多项国家自然科学基金项目、863项目、973项目、国家科技重大专项以及众多横向项目。随着国家对微电子、光电子领域重视程度的不断提高,相信明天会更好。

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